解析研究センター

募集中のプロジェクト

イオンビームによるマイクロ加工関する研究提案

解析研究センター 長瀧篤子、湯浅俊郎

弊社所有日立製FB-2100

Jeol製SM-09020Cp

1. 背景:
近年デバイスのサイズダウンが計られ通常の治具では加工をできない、もしくは複合材料のためダメージ無く加工ができない等々の問題が生じている。
2. 本分析の特徴:
  • FIB(Gaの収束イオンビーム)を用いてミクロン〜ナノオーダーで微細切削加工が可能。
  • CP(Arのイオンビーム)を用いて1mm程度の幅で非常に平滑な断面を出すことができる。
3. 期待される成果:
  • 微細試料であっても更に微細加工が可能。
  • 複合材料(強度の違う材料、有機物無機物など)であっても組織を維持したまま加工が可能。
  • SEM、EPMA、TEM等の試料作製が可能。
  • 試料の内部構造を観察することが可能。

キーワード:イオンビーム、加工、断面、FIB、CP、複合材料

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