フェロ&ピコシステム研究部

小型メタノール濃度センサ

従来のQCMセンサ

 従来の振動子は両面に駆動用の電極を配置しており,実装が困難であり,利用上においても扱いにくいなどの課題があった。

QCMを液相中で使用する際の問題点
・両面の電極が液中に晒されてリークする。
・振動損失が増加し、Qが落ちて大気中の場合に比べ共振特性は大きく鈍化する。
 実験により分解能は2桁落ちる事が確認された。

※気相中での微量質量センサとしての利用は多いが、液相中での測定は余り知られていない

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株式会社KRI フェロ&ピコシステム研究部
担当者 藤井泰久
TEL:075-322-6832
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