解析研究センター

ナノ材料微小部分析評価法

電子、光デバイスなどの材料の微小化・集積化は著しくナノ領域での構造評価の重要性は高くなっています。
kriではfib、高分解能sem、 fe−epmaを中心として多種の手法を有機的に組み合わせて総合評価することで形態・組成から化学状態分布まで明らかにする方法を確立してきました。
京都大学平尾研究室のご協力を得て実施した分析例を挙げ、今後も様々な材料への適用を図っていきます。

実施分析例(協力:京都大学 平尾研究室)

ナノ微小部分析評価法の一例を下記リンク先にあげています。


ナノ微小部分析評価法
イオンミリング、顕微ラマン、aes、spm、temなどで総合評価
精密面だし、fib(収束イオンビーム) 元素組成・化学状態、fe-epma 形態観察、高分解能sem
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