解析研究センター

表面分析

EPMA

■FE-EPMA

分析内容

表面、内部の形態観察
表面の元素組成・化学状態分析
表面の化合物分布分析
表面層の深さ方向分析
表面吸着物の分析

対象物

炭素繊維、複合材料
有機・高分子材料
ガラス、セラッミクス
触媒
金属材料
生物試料

分析例

カビ、バクテリアの形態観察
高分子材料の微量添加物成分分析
高分子材料の微細構造観察
触媒金属粒子の形態観察
プラスチック材料の断面観察
結晶粒界析出物の成分分布分析

主要装置

X線光電子分光装置(XPS、ESCA)
フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)
高分解能走査型電子顕微鏡(FE-SEM、SEM-EDX)
集束イオンビーム装置(FIB)
原子間力顕微鏡(AFM)

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得意技術領域