SPM(走査型プローブ顕微鏡)

目的・背景

物質の挙動を調べるためには、微細構造分析が非常に重要です。電子線を用いた従来の電子顕微鏡(TEM、SEM)の他に、プローブを使用した顕微鏡を使った新しい切り口で、材料の特性を調査します。

概要

SPM(走査型プローブ顕微鏡)
  針と物質の間に作用する種々の物理量の測定を行う表面形状観察、物性分析を行う顕微鏡の総称

  <特徴>
  *nmオーダーで三次元の凹凸を観察
  *雰囲気を問わない。(大気、ガス、液中、温度可変)
  *試料の前処理が不要(表面コート、染色等)
  *微小な力で走査するため、試料へのダメージが少ない
  *形状の他に、物性情報が得られる。

この内容に関するお問い合わせ

フェロ&ピコシステム研究部